進(jìn)入九十年代,國(guó)際上MEMS技術(shù)有了長(zhǎng)足的發(fā)展，硅片定向微機(jī)電加工精度和成品率不斷提高，加上離子注入技術(shù)的發(fā)展使擴(kuò)散硅壓力傳感器從技術(shù)上有了可靠保證，成本也有所下降。在許多應(yīng)用領(lǐng)域里，擴(kuò)散硅壓力傳感器還必須與充油蕊體配套,這又使它的售價(jià)大幅度上升。這些原因無(wú)疑在一定程度上促進(jìn)了國(guó)內(nèi)壓力傳感器市場(chǎng)的興盛。

　　近幾年，由昆山市人民政府和中科院，在昆山雙橋成立了國(guó)家火炬計(jì)劃昆山傳感器產(chǎn)業(yè)基地，使擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的微納米MEMS技術(shù)硅壓阻式傳感器和變送器形成了產(chǎn)業(yè)鏈。合肥智能化所在陶瓷壓力傳感器方面在研發(fā)和制造技術(shù)方面也有了可喜的發(fā)展。這些進(jìn)展都在一步步推進(jìn)著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的發(fā)展。

　　在國(guó)外，壓阻式陶瓷壓力傳感器以其高可靠性，抗腐蝕、優(yōu)良的線性精度和低成本開(kāi)始逐漸替代擴(kuò)散硅壓力傳感器，這也將是必然的發(fā)展趨勢(shì)。國(guó)家科技部馬頌德副部長(zhǎng)在2005年底視察無(wú)錫時(shí)，對(duì)此作了充分肯定。

　　我國(guó)從事各種壓力變送器生產(chǎn)的廠家有1700多家，作為壓力變送器的核心部件-壓力傳感器實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化的時(shí)代巳經(jīng)到來(lái)!